薄膜玻璃晶圓厚度 平整度 間隙無(wú)損測(cè)量?jī)x

薄膜玻璃晶圓厚度 平整度 間隙無(wú)損測(cè)量?jī)x

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 非接觸、高精度、納米級(jí)厚度自動(dòng)測(cè)量
• 可根據(jù)要求規(guī)格選擇傳感器
• 可根據(jù)測(cè)量對(duì)象自由定制載臺(tái)、測(cè)量方法、顯示方式
• 傳感器控制器、控制部、顯示部?jī)?nèi)置于測(cè)量?jī)x器，實(shí)現(xiàn)小型化
• 可將任意數(shù)據(jù)以CSV文件形式輸出到PC、服務(wù)器等
• 設(shè)計(jì)、加工、組裝、調(diào)整實(shí)行公司內(nèi)部一體化，實(shí)現(xiàn)低價(jià)格、短交期

主要用途

• 薄膜、片材、玻璃、面板、透鏡、晶圓等的厚度、平整度、間隙測(cè)量
• 帶膠帶晶圓厚度測(cè)量
• 樹(shù)脂、涂層劑、粘合劑等接觸式測(cè)量無(wú)法獲得精度的材料厚度測(cè)量
• 金屬厚度、平面度測(cè)量
• 其他材質(zhì)、測(cè)量方法也可在短時(shí)間內(nèi)驗(yàn)證

• 特徴

• 
  

• 非接觸、高精度、ナノオーダーでの厚みを自動(dòng)で測(cè)定

• 要求仕様に沿ったセンサを選定可能

• 測(cè)定対象物に合わせた受臺(tái)、測(cè)定方法、表示を自在にカスタマイズ可能

• センサコントローラー、制御部、表示部を測(cè)定器に內(nèi)蔵でコンパクト化を?qū)g現(xiàn)

• 任意のデータをCSVファイルにて、PC、サーバー等へ出力可能

• 設(shè)計(jì)、加工、組立、調(diào)整が社內(nèi)一貫體制のため低価格、短納期を?qū)g現(xiàn)

• 用途

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• フィルム、シート、ガラス、パネル、レンズ、ウェハ等の厚み、平坦度、隙間（ギャップ）測(cè)定

• テープ付きウェア厚み測(cè)定

• 樹(shù)脂、コーティング剤、接著剤等、接觸式の測(cè)定では精度が出せない材質(zhì)の厚み測(cè)定

• 金屬の厚み、平面度測(cè)定

• その他材質(zhì)、測(cè)定方法も短期間で検証いたします。