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Taiseigiken半導體小型高氣密性氣體加熱器

Taiseigiken半導體小型高氣密性氣體加熱器
HOT-N2 UNIT 通過“加熱氮氣"這一簡單動作，即可抑制排氣中的反應生成物（微粉末），縮短 cryo 再生時間，并加速真空干燥，顯著減少維護工時，提升產(chǎn)能。

產(chǎn)品型號：HOT-N2 UNIT
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2026-01-05
訪問量：89

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Taiseigiken半導體小型高氣密性氣體加熱器

HOT-N2 UNIT 通過“加熱氮氣"這一簡單動作，即可抑制排氣中的反應生成物（微粉末），縮短 cryo 再生時間，并加速真空干燥，顯著減少維護工時，提升產(chǎn)能。

照片左／HNH-1
照片右／HNH-C-SI-1

HOT-N2 UNIT 是什么？

對真空腔體、真空泵及排氣管道內(nèi)的 N? 進行“潔凈?極速?高溫"注入的在線加熱裝置。

渦流注入機是什么？

獨特接頭內(nèi)部采用渦流結構，讓 HOT-N? 的高溫層在管道內(nèi)保持更長時間，提高抑制效率。

系統(tǒng)配置 ①（半導體 / 液晶工廠　微粉抑制）

用途

防止蝕刻、CVD、ALD、離子注入等排氣管道因反應生成物而堵塞
抑制粉體 Trap（TraPac）下游管道的粉末堆積
避免干式真空泵轉(zhuǎn)子等部位因生成物堆積而卡死
阻止 TMP 出口管路因反應生成物堵塞

特點

cartridge 加熱器方案，壽命更長
超高氣密 ≤1×10?1? Pa·m2/sec
小型化設計，狹窄空間也能輕松安裝

系統(tǒng)配置 ②（Cryo 再生時間縮短）

用途

大幅縮短 cryo 泵的再生周期

特點

cryo 泵專用加熱器，小巧輕便
安裝簡單，支持特殊規(guī)格定制
已做安全隔熱處理，可安心使用

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Taiseigiken半導體小型高氣密性氣體加熱器

HOT-N2 UNIT 是什么？

渦流注入機是什么？

系統(tǒng)配置 ①（半導體 / 液晶工廠 微粉抑制）

系統(tǒng)配置 ②（Cryo 再生時間縮短）

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系統(tǒng)配置 ①（半導體 / 液晶工廠　微粉抑制）