日本KLS半導體晶圓周邊曝光用氙氣水銀燈
日本KLS半導體晶圓周邊曝光用氙氣水銀燈

1. 光譜寬＋峰值強
   200 nm–800 nm 連續(xù)譜上疊加 254 nm、365 nm、405 nm、436 nm 等汞線，一臺燈即可同時滿足 i-line（365 nm）曝光和可見光對準，不必換燈。
2. 高亮度點光源
   電弧長度 1–3 mm，亮度 20–50 W mm?2 sr?1，可高效耦合到 φ3–φ5 mm 石英光纖或?qū)Ч獍?，實現(xiàn)遠距離冷光照明。
3. 快速啟動 / 熱重啟
   內(nèi)置高壓氙氣，冷啟動 30 s 達 80 %光通；熄燈后 3–5 min 可熱重啟，適合小批量、頻繁開關(guān)的實驗或檢修產(chǎn)線。
4. 長壽命、低光衰
   直流 150 W、200 W、350 W、500 W、1 kW 多款，額定壽命 1 000–2 000 h；采用鉬箔封接與石英球泡，200 h 光衰＜10 %。
5. 安全認證
   燈體帶防爆槽、臭氧過濾石英（O?-Free），通過 PSE、CE 認證；配套電源內(nèi)置電流反饋，電弧漂移＜0.2 mm，保證曝光均勻性。