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PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本nikoha等離子體3E微波自動阻抗匹配器專為半導(dǎo)體成膜、刻蝕、熱處理、離子注入等微波等離子體裝置設(shè)計(jì)在負(fù)載變動時(shí)高速匹配，降低反射功率，提升整機(jī)效率
產(chǎn)品型號：3E TUNER廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2025-11-29訪 問 量：28
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日本nikoha等離子體3E微波自動阻抗匹配器
日本nikoha等離子體3E微波自動阻抗匹配器
| 特點(diǎn) | 說明 |
|---|---|
| 高功率自然空冷 | 5 kW 滿載運(yùn)行無需水冷，節(jié)省配管與維護(hù) |
| 寬帶覆蓋 | 2400 – 2500 MHz 全波段兼容，中心 2450 MHz |
| 小型輕量化 | 長度 220 mm，重量 4 kg，可直接安裝在現(xiàn)有波導(dǎo)段 |
| 寬范圍匹配 | VSWR 1 – 10（全相位）≤2 s 拉至 ≤1.2 |
| 低功率也響應(yīng) | 幾十瓦起即可開始調(diào)諧，適合工藝啟輝階段 |
| 控制一體化 | 控制電路內(nèi)置，無需外置控制器；附 PC 專用軟件，可遠(yuǎn)程設(shè)定、監(jiān)控、位置記憶 |
| 長壽命設(shè)計(jì) | 調(diào)諧機(jī)構(gòu) + 高功率器件降額使用，MTBF > 20 000 h |
微波振蕩器 → 環(huán)行器 → 定向耦合器 → 3E TUNER → 波導(dǎo) → 等離子體腔
郵箱：akiyama_zhou@163.com
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