日本Mitaka非接觸式晶圓翹曲形狀測(cè)定儀

日本Mitaka非接觸式晶圓翹曲形狀測(cè)定儀
搭載比“索引測(cè)量"快 50 倍的 Scan-AF 功能與高精度自動(dòng) XY 平臺(tái)，可在亞微米精度下高速測(cè)量數(shù)十毫米級(jí)大范圍。
適用于：
斷面曲線無法檢出的精密加工件翹曲
注塑件形狀不良
摩擦學(xué)中的磨損量及劃痕定量評(píng)價(jià)

產(chǎn)品型號(hào)：PF-60
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時(shí)間：2025-11-29
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日本Mitaka非接觸式晶圓翹曲形狀測(cè)定儀
日本Mitaka非接觸式晶圓翹曲形狀測(cè)定儀

PF-60 “非接觸表面性狀測(cè)量?jī)x"
Scan-AF 功能實(shí)現(xiàn)大范圍?高速測(cè)量！

搭載比“索引測(cè)量"快 50 倍的 Scan-AF 功能與高精度自動(dòng) XY 平臺(tái)，可在亞微米精度下高速測(cè)量數(shù)十毫米級(jí)大范圍。
適用于：

斷面曲線無法檢出的精密加工件翹曲
注塑件形狀不良
摩擦學(xué)中的磨損量及劃痕定量評(píng)價(jià)

特長(zhǎng)

Scan-AF 測(cè)量頭
大范圍?高精度測(cè)量
測(cè)量范圍：XYZ 60×60×10 mm
分辨率：XY 0.1 µm、Z 0.01 µm
Scan-AF 高速測(cè)量
粗糙度測(cè)量與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)高度相關(guān)
標(biāo)配國(guó)際規(guī)格（ISO） compliant 軟件 MitakaMap
支持?jǐn)嗝?面區(qū)域粗糙度?形狀評(píng)價(jià)
桌面小型系統(tǒng)
安裝尺寸：400 mm×400 mm
重量：31 kg

規(guī)格

行程（X, Y, Z）：60 × 60 × 60 mm
XY 軸光柵分辨率：0.1 µm
Z 軸光柵分辨率：0.01 µm
激光光斑直徑：1 µm（100× 時(shí)）
激光：λ = 635 nm，功率 ≤ 1 mW

PF-60 擅長(zhǎng)測(cè)量示例

樣品	測(cè)量要點(diǎn)
HD 懸架	輕觸即變的翹曲/扭曲
IC 圖案	大面積微細(xì)形貌
指紋	柔軟物非接觸高精度
頭發(fā)	捕捉細(xì)微變化
金剛石磨粒	刃口形狀、突起高度
車刀刀尖	3D 顯示、斷面尺寸、粗糙度
晶圓翹曲	整體翹曲/波紋高速測(cè)量
磨削面振紋	面區(qū)域粗糙度演算
剎車片磨損	毛刺/接觸面/磨損面分割及載荷曲線測(cè)量

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日本Mitaka非接觸式晶圓翹曲形狀測(cè)定儀

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