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產(chǎn)品展示/ Product display

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日本RION理音SOG液體顆粒計數(shù)器

日本RION理音SOG液體顆粒計數(shù)器
0.15 µm 起,適用于光刻膠(Photoresist)、SOG(Spin On Glass)等高純液體
粒徑通道:0.15 – 0.5 µm 范圍內(nèi) 10 檔;出廠默認(rèn) 4 檔(0.15 / 0.2 / 0.3 / ≥0.5 µm)

  • 產(chǎn)品型號:KS-41A
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2025-11-25
  • 訪  問  量:123
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聯(lián)系電話:13823182047

詳細(xì)介紹

日本RION理音SOG液體顆粒計數(shù)器
日本RION理音SOG液體顆粒計數(shù)器

KS-41A 光阻液 / SOG 液體顆粒計數(shù)器
(側(cè)向散射激光式)

1. 核心能力

  • 檢測粒徑:0.15 µm 起,適用于光刻膠(Photoresist)、SOG(Spin On Glass)等高純液體
  • 粒徑通道:0.15 – 0.5 µm 范圍內(nèi) 10 檔;出廠默認(rèn) 4 檔(0.15 / 0.2 / 0.3 / ≥0.5 µm)
  • 濃度上限:1,200 顆/mL(計數(shù)損失 ≤5%)
  • 采樣流量:10 mL/min

2. 系統(tǒng)特點

  • 光學(xué)原理:側(cè)向散射 + 830 nm 半導(dǎo)體激光(200 mW)
  • 接液材質(zhì):合成石英 + PFA,耐腐蝕、低析出
  • 多種模式:Batch 采樣 / 在線(In-line) / 多點監(jiān)控(Multi-point)
  • 法規(guī)符合:CE 標(biāo)志,可直接連接多點監(jiān)控系統(tǒng)

3. 硬件規(guī)格

項目參數(shù)
供電DC 12 V(由主機(jī) KE-40B1 提供)
尺寸160 H × 300 W × 251 D mm(不含突起)
重量約 7.5 kg

4. 應(yīng)用場景

  • 晶圓廠光刻膠循環(huán)管路粒子監(jiān)測
  • SOG 涂布前顆粒管控
  • 化學(xué)品供應(yīng)商批次檢驗
  • 多點并行監(jiān)控(最多 8 通道)


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