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產(chǎn)品展示/ Product display

您的位置:首頁  /  產(chǎn)品展示  /  氣體檢測儀  /  氣體分析儀  /  XPS-7II便攜式半導(dǎo)體三氟化氮?dú)怏w泄漏檢測儀

便攜式半導(dǎo)體三氟化氮?dú)怏w泄漏檢測儀

便攜式半導(dǎo)體三氟化氮?dú)怏w泄漏檢測儀
XPS-7II是日本新宇宙(NEW COSMOS)電機(jī)株式會(huì)社開發(fā)的便攜式半導(dǎo)體材料氣體檢測儀,采用傳感器單元更換方式,能夠檢測多種半導(dǎo)體制造過程中使用的氣體。該設(shè)備在便攜式吸引式氣體檢測儀中實(shí)現(xiàn)了世界小尺寸,特別適用于NF?(三氟化氮)等半導(dǎo)體材料氣體的泄漏檢測。

  • 產(chǎn)品型號(hào):XPS-7II
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2025-11-18
  • 訪  問  量:121
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詳細(xì)介紹

便攜式半導(dǎo)體三氟化氮?dú)怏w泄漏檢測儀
便攜式半導(dǎo)體三氟化氮?dú)怏w泄漏檢測儀

XPS-7II是日本新宇宙(NEW COSMOS)電機(jī)株式會(huì)社開發(fā)的便攜式半導(dǎo)體材料氣體檢測儀,采用傳感器單元更換方式,能夠檢測多種半導(dǎo)體制造過程中使用的氣體。該設(shè)備在便攜式吸引式氣體檢測儀中實(shí)現(xiàn)了世界小尺寸,特別適用于NF?(三氟化氮)等半導(dǎo)體材料氣體的泄漏檢測。

核心特點(diǎn)

傳感器單元更換系統(tǒng)
  • 現(xiàn)場可更換:傳感器單元可在使用現(xiàn)場輕松更換
  • 多氣體檢測:一臺(tái)設(shè)備通過更換傳感器單元可檢測多種氣體
  • 免校準(zhǔn)設(shè)計(jì):傳感器單元更換后無需校準(zhǔn),節(jié)省維護(hù)時(shí)間和成本
世界小尺寸
  • 超緊湊設(shè)計(jì):在便攜式吸引式氣體檢測儀中實(shí)現(xiàn)世界小尺寸
  • 輕量化:約1.3kg重量,便于攜帶和操作
  • NF?檢測:作為便攜式NF?檢測儀,具有業(yè)界的緊湊性
智能報(bào)警系統(tǒng)
  • 漸進(jìn)式報(bào)警:報(bào)警音隨氣體濃度變化而變化,從緩慢斷續(xù)音逐漸加快到連續(xù)音
  • 高濃度報(bào)警:高濃度時(shí)發(fā)出連續(xù)音報(bào)警
  • 多重顯示:LCD閃爍、紅色報(bào)警燈閃爍等多重報(bào)警方式
國際認(rèn)證
  • CE標(biāo)志:符合歐洲CE規(guī)格要求

技術(shù)規(guī)格詳解

項(xiàng)目規(guī)格
檢測對(duì)象半導(dǎo)體材料氣體
檢測原理定電位電解式
采樣方式自動(dòng)吸引式
檢測范圍根據(jù)規(guī)格而定
報(bào)警設(shè)定值根據(jù)規(guī)格而定
報(bào)警方式蜂鳴器、紅色LED閃爍、LCD閃爍顯示
響應(yīng)時(shí)間60秒以內(nèi)(60%響應(yīng))
尺寸W62×H150×D128mm(不含突起部分)
重量約1.3kg
工作溫度范圍0℃~+40℃
連續(xù)使用時(shí)間12小時(shí)以上(NF?傳感器單元使用8小時(shí)以上)※堿性干電池、20℃、無報(bào)警時(shí)

主要應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造
  • 半導(dǎo)體工廠中半導(dǎo)體材料氣體的泄漏檢測
  • 化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝氣體監(jiān)測
  • 刻蝕工藝氣體檢測
  • 離子注入工藝氣體監(jiān)測
典型檢測氣體
  • NF?(三氟化氮):主要用于CVD腔室清洗
  • SiH?(硅烷):用于硅膜沉積
  • PH?(磷化氫):用于摻雜
  • AsH?(砷化氫):用于摻雜
  • B?H?:用于摻雜
  • WF?(六氟化鎢):用于鎢膜沉積


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