日本technomu小型旋轉(zhuǎn)非接觸式平面度測(cè)量機(jī)
日本technomu小型旋轉(zhuǎn)非接觸式平面度測(cè)量機(jī)

主要特點(diǎn)

• 低價(jià)實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量
• 高速測(cè)量，適合量產(chǎn)全檢
• 非接觸測(cè)量，不會(huì)劃傷被測(cè)物
• 受工件材質(zhì)影響極小
• 可測(cè)量從晶圓到金屬磨削品、透明玻璃等多種材料
• 預(yù)設(shè)判定閾值，自動(dòng)判定 OK/NG
• 可根據(jù)工件定制測(cè)量臺(tái)（歡迎咨詢）

規(guī)格要點(diǎn)

• 測(cè)量范圍：2 英寸 – 12 英寸以上
• 測(cè)量方式：旋轉(zhuǎn)掃描式
• 可用激光類型：三角測(cè)距、共焦、光譜干涉、多激光同軸
• 分辨率：最高 0.001 µm

• 低價(jià)實(shí)現(xiàn)高精度（最高 0.001 µm 分辨率）
• 高速旋轉(zhuǎn)掃描，適合量產(chǎn)全檢
• 非接觸，零劃傷風(fēng)險(xiǎn)；透明/鏡面/金屬皆可測(cè)
• 操作簡(jiǎn)單：“放入→啟動(dòng)→自動(dòng)判定"
• 機(jī)型小巧，可測(cè) φ100 mm 左右工件（更大可特注）
• 可按工件形狀定制治具、轉(zhuǎn)盤(pán)、行程

典型應(yīng)用

• 玻璃基板、樹(shù)脂加工板、不銹鋼/銅/鋁等金屬圓板
• 手機(jī)攝像頭保護(hù)玻璃、LED 基板、密封環(huán)、軸承墊片等薄形圓板平面度快速分揀