日本micro-granite無損裸晶圓平整度測定機
日本micro-granite無損裸晶圓平整度測定機
Waferom 300 是一種用于裸晶圓的多功能測量設備。它利用硅傳輸位移傳感器進行非接觸式檢測硅晶圓的厚度。為了在測量過程中盡量減少任何震動，該設備在Y軸（前后軸）和θ軸（旋轉(zhuǎn)軸）上采用了高精度的氣動軸承，這些軸承使用了來自印度的黑色花崗巖，確保了晶圓厚度的精確檢測。通過將數(shù)據(jù)傳輸?shù)接嬎銠C進行分析，Waferom 300 能夠評估諸如全局平整度、局部平整度、翹曲和邊緣滾落等幾何因素。Waferom 300 是一種用于裸晶圓的多功能測量設備。它利用硅傳輸位移傳感器進行非接觸式檢測硅晶圓的厚度。為了在測量過程中盡量減少任何震動，該設備在Y軸（前后軸）和θ軸（旋轉(zhuǎn)軸）上采用了高精度的氣動軸承，這些軸承使用了來自印度的黑色花崗巖，確保了晶圓厚度的精確檢測。通過將數(shù)據(jù)傳輸?shù)接嬎銠C進行分析，Waferom 300 能夠評估諸如全局平整度、局部平整度、翹曲和邊緣滾落等幾何因素。Waferom 300 是一種用于裸晶圓的多功能測量設備。它利用硅傳輸位移傳感器進行非接觸式檢測硅晶圓的厚度。為了在測量過程中盡量減少任何震動，該設備在Y軸（前后軸）和θ軸（旋轉(zhuǎn)軸）上采用了高精度的氣動軸承，這些軸承使用了來自印度的黑色花崗巖，確保了晶圓厚度的精確檢測。通過將數(shù)據(jù)傳輸?shù)接嬎銠C進行分析，Waferom 300 能夠評估諸如全局平整度、局部平整度、翹曲和邊緣滾落等幾何因素。