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日本tysei工業(yè)清洗液藥液用氟樹脂脫氣裝置

日本tysei工業(yè)清洗液藥液用氟樹脂脫氣裝置
這是一款采用氟樹脂材質的脫氣模塊，適用于半導體和FPD（平板顯示器）制造工藝中的清洗液、蝕刻液、光刻膠剝離液的脫氣處理。也適用于分析和理化領域中使用的藥液、有機溶劑、酸堿溶液的脫氣處理，以及各類制造工藝中使用的藥液、清洗液、涂層液及處理液的脫氣。

  • 產品型號：TY-55025
  • 廠商性質：經銷商
  • 更新時間：2025-10-30
  • 訪  問  量：121
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詳細介紹

日本tysei工業(yè)清洗液藥液用氟樹脂脫氣裝置
日本tysei工業(yè)清洗液藥液用氟樹脂脫氣裝置

這是一款采用氟樹脂材質的脫氣模塊，適用于半導體和FPD（平板顯示器）制造工藝中的清洗液、蝕刻液、光刻膠剝離液的脫氣處理。也適用于分析和理化領域中使用的藥液、有機溶劑、酸堿溶液的脫氣處理，以及各類制造工藝中使用的藥液、清洗液、涂層液及處理液的脫氣。

產品型號和特點

  1. TY-55010（Φ120mm H120mm）
    • 流量范圍：≤20ml/min.
  2. TY-55025（Φ120mm H120mm）
    • 流量范圍：≤50ml/min.
  3. TY-55080（Φ120mm H160mm）
    • 流量范圍：≤150ml/min.
  4. TY-55100（Φ120mm H160mm）
    • 流量范圍：≤250ml/min.
  5. TY-55250（Φ120mm H240mm）
    • 流量范圍：≤500ml/min.

組合型號

  • TY-55010 & TY-88010
    • 流量范圍：≤20ml/min 和 ≤500ml/min.

技術規(guī)格

  • 耐壓：0.3 MPa
  • 最高使用溫度：50℃
  • 接口：
    • 通液口：1/4"
    • 真空端口：Φ6
  • 接液部材質：PFA（脫氣膜、結束部、接合部）
  • 脫氣率：80%的流量乘以3

這是一款采用氟樹脂材質的脫氣模塊，適用于半導體和FPD（平板顯示器）制造工藝中的清洗液、蝕刻液、光刻膠剝離液的脫氣處理。也適用于分析和理化領域中使用的藥液、有機溶劑、酸堿溶液的脫氣處理，以及各類制造工藝中使用的藥液、清洗液、涂層液及處理液的脫氣。

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